六氟化硫是无毒的气体，它对生物的危害同氮气相类似。其原因是由于它的密度大约是空气的5倍，生物在六氟化硫气体环境中会因缺氧呼吸窒息而发生危险。但就其中所涉及的毒素主要是因生产和弃灌过程中的杂质和水分，或在电弧放电时形成的分解物，主要是低氟化物，如：SF2，S2F2，S2F10，SF8和HF等，这些分解的氟化物都有程度不同的毒性。

    1、氟化氢具有强烈刺激性气味的气体，易融于水，即氢氟酸，酸性极强，具有强腐蚀性，可以溶解玻璃；对皮肤、黏膜有强刺激作用，可烧伤呼吸道，可引起肺水肿，肺部炎症。

    2、四氟化硫有类似二氧化硫的刺激气味，极易水解形成HF等，在空气中遇水可形成烟雾。

    3、氟化亚硫酰有刺激性气味，水解后生成HF。

    4、二氟化硫酰无色，无味，无嗅的气体，可引起全身痉挛，麻痹呼吸系统，可使肌肉组织丧失功能。

    六氟化硫气体它是有很强的吸收红外辐射的能力，是一种有很强温室效应的气体，已被认定为必须加以限制的温室效应气体。 所以工程上对SF6气体的生产、灌装、运输、对杂质和水分都有严格规定。

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